我們都知道，在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，因?yàn)槲锪系钠胶�、熱�?chǔ)存、經(jīng)濟(jì)核算等方面的計(jì)算都需要質(zhì)量流量計(jì)，而不是采用體積，那是因?yàn)樵跍y(cè)量的時(shí)候經(jīng)常需要將體積測(cè)量結(jié)果換算成質(zhì)量流量而且因?yàn)槊芏入S著溫度與壓力變化而變化，所以在測(cè)量流量體體積的時(shí)候需要同時(shí)測(cè)量流體密度和壓力，然后求出質(zhì)量流量。測(cè)量氫氣自然也不例外。

對(duì)于測(cè)量氫氣所使用的的質(zhì)量流量傳感器工采網(wǎng)推薦的美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量傳感器 － FS4001可用于廣泛的應(yīng)用范圍包括儀器（如氣相色譜質(zhì)譜法）、泄漏檢測(cè)、過(guò)程控制、氣體流量計(jì)量以及醫(yī)療應(yīng)用。FS4001需要8 ～ 24 VDC電源提供一個(gè)模擬和／或數(shù)字用戶接口。模擬輸出是線性的從0．5到4．5 VDC從0到滿刻度流量相應(yīng)。數(shù)字輸出是通過(guò)RS232傳輸。另一方面FS4001質(zhì)量流量傳感器包裝盒是由化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定的聚碳酸酯材料制成的，使用siargo專有的MEMS流量傳感器與封裝技術(shù)，壓力等級(jí)較高是5BAR（73 PSI），得受益于siargo獨(dú)特的MEMS芯片結(jié)構(gòu)、特殊包裝技術(shù)和堅(jiān)固耐用的傳感器外殼，以便達(dá)到適宜的靈敏度。

氣體質(zhì)量流量傳感器－FS4001主要特性：

1）傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量

2）傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量

3）在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高

4）傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高

5）全量程高穩(wěn)定性

6）全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

7）低功耗

8）低壓損

9）響應(yīng)時(shí)間快

氣體質(zhì)量流量傳感器－FS4001框圖：

功能框圖如下圖所示。MEMS傳感器芯片的傳感器驅(qū)動(dòng)電路供電和發(fā)送流量相關(guān)的電壓轉(zhuǎn)換器。微控制器處理英文字母表的第19個(gè)字母；

（放大、濾波等）將電壓轉(zhuǎn)換成流量。流量信號(hào)被發(fā)送通過(guò)模擬或模擬和數(shù)字格式（RS232）。