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預見2020：2020年中國離子注入機產業(yè)全景圖

2020-08-14 14:24
前瞻網(wǎng)
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企業(yè)分析——中美日三國領銜

全球離子注入機的領先企業(yè)主要分布在中國、美國和日本，其中，中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機行業(yè)的龍頭企業(yè)，其中凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業(yè)。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。

圖表9：離子注入機相關領先企業(yè)

但我國企業(yè)在IC離子注入機制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，離子注入機研發(fā)進度仍待加快。

我國離子注入機相關領先企業(yè)技術進展情況如下所示：

圖表10： 我國刻蝕設備相關領先企業(yè)技術進展情況(單位：nm)


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